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关于傅立叶红外光谱仪在半导体应用说明

发布时间:2018/9/29   点击次数:720
 
提 供 商: 上海斯迈欧分析仪器有限公司 资料大小:
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傅立叶红外技术可以快速、灵敏、无损地分析硅材料中的碳、氧含量,因此它在硅材料质量控制领域被广泛接受和应用。布鲁克人在这个前沿领域拥有和积累了几十年的经验,并结合布鲁克VERTEX系列傅立叶红外光谱仪推出了业内专业和与时俱进的完整分析方案。

根据ASTM/SEMI MF1391标准,建立了室温 硅中代位碳原子含量分析方法。 根据ASTM/SEMI MF1188标准,建立了室温 硅中间隙氧含量分析方法。 可达低检出限: < 400ppba 建议的样品特征: 厚度0.5-2.5 毫米 (理想:约1.5 毫米) 双面抛光 单晶或多晶型

 

更多信息请点击:布鲁克红外光谱仪

 
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