傅立叶红外技术可以快速、灵敏、无损地分析硅材料中的碳、氧含量，因此它在硅材料质量控制领域被广泛接受和应用。布鲁克人在这个前沿领域拥有和积累了几十年的经验，并结合布鲁克VERTEX系列傅立叶红外光谱仪推出了业内专业和与时俱进的完整分析方案。 根据ASTM/SEMI MF1391标准，建立了室温 硅中代位碳原子含量分析方法。 根据ASTM/SEMI MF1188标准，建立了室温 硅中间隙氧含量分析方法。 可达低检出限： < 400ppba 建议的样品特征： 厚度0.5-2.5 毫米 (理想：约1.5 毫米) 双面抛光 单晶或多晶型 更多信息请点击：布鲁克红外光谱仪 | 
