近年来碰撞/反应池技术 (CRC) 广泛应用于四极杆 ICP-MS (ICP-QMS)，以消除 会对复杂基质中的分析物造成质谱干扰的多原子离子。利用 CRC，可以使半导 体级化学品中几乎所有待测元素的背景等效浓度 (BEC) 降低至 ppt 或亚 ppt 水平。 但是，某些样品基质中的一些多原子物质非常稳定，或者原始浓度较高，可能无 法通过池技术*消除，因而仍会导致残留质谱干扰问题。

例如，硫基质会导致 ICP 中 SO+ 和 SN+ 的浓度比较高，这两种离子都会干扰钛的测定。多原子物质 SO 和 SN 的电离能 (IP) 分别是 10.2 eV 和 8.9 eV，因此它们在 ICP 中比 S (IP 10.36 eV) 更容易电离。