以前我们要根据不同的观察信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以获得最佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在同样的WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。
而且，日立SU7000热场发射扫描电镜还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级电镜控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高效率观察。它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。
日立SU7000热场发射扫描电镜主要特点：
在相同的WD条件下，可同时实现二次电子，背散射电子观察与X射线能谱分析。
可同时实现6通道检测与显示；
成像分辨率最大可达10240x7680像素；
配置18个附件接口，支持低至300Pa的低真空模式观察；（选配）
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